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簡(jiǎn)要描述:橢圓偏振法測(cè)量的原理很早就已提出 ,相應(yīng)的測(cè)試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新 ,使得橢圓偏振法成為重要的測(cè)試手段 ,廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域〔1〕.其中測(cè)量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法Z基本、也是非常重要的應(yīng)用之一
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍:1nm~4000nm;
測(cè)量zui小值:≤1nm;
鍍膜折射率范圍:1.300 ~ 10.000
入射角:40°~90° 誤差≤0.05°
偏振器方位角讀數(shù)范圍:0°~180°
偏振器步進(jìn)角:0.0375°/步
測(cè)量精度:在10nm處誤差為±0.5nm
光學(xué)中心高度:75mm
允許樣品尺寸直徑:φ10mm~φ120mm
厚度:≤10mm
儀器特點(diǎn):
儀器采用消光式橢圓偏振方式測(cè)量,具有精度高、自動(dòng)控制等特點(diǎn)
光源采用氦氖激光,波長(zhǎng)精度高
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件對(duì)采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于
不同需要,同時(shí)軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本,適于教學(xué)要求。
成套性:
主機(jī),USB線(xiàn),軟件(需配計(jì)算機(jī))
手機(jī)
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